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工业准分子激光气体(248nm)
2026/6/29
产品分类：工业准分子激光气体(248nm)
产品名称：工业准分子激光气体(248nm)
分子式：KrF
产品纯度：99.9999％
包装说明：10L、16L、20L、49L、50L
工业级 99.9999% 工业准分子激光气体 (248nm - KrF) 专为半导体光刻、精细微加工及精密激光剥离等现代专业工业应用配制。采用 99.9999% 超高纯度物理混合工艺，可激发出能量密度高、波长极其稳定的 248nm 深紫外激光，让连续工业量产中的高重复率与高稳定性。
产品纯度 / Purity 99.9999% (超高纯)
分子式与波长 / Tech KrF (248 nm)
产品分类 / Category 工业准分子激光气体
包装规格 / Package 10L / 16L / 20L
49L / 50L 高压专用瓶
49L / 50L 高压专用瓶
| 核心技术项 | 物理特征与质量原理解析 | 工业设备匹配说明 |
|---|---|---|
| 99.9999% 专业纯度 | 严格消除微量水分、氧及碳氢化合物杂质，防止激发电极发生次生劣化，稳定激发出优良的 248nm 激光线。 | 有效保护工业激光设备的内部腔体，显著延长光学镜片的使用寿命。 |
| 均匀的能量输出 | 精密混配的 KrF（氟化氪）组分比例，让在长期、高频的连续脉冲放电中，激光输出能量无瞬时波动。 | 满足半导体光刻及材料微精细加工对切削深度和均匀性的苛刻标准。 |
| 专用气瓶与钝化 | 包装瓶体内部均通过高标准的深度清洗、真空烘干及特种多重钝化处理，让气体在效果久储存周期内绝不发生微量变质。 | 多面匹配国内外各大主流进口及国产高功率工业准分子激光系统。 |
| 严苛出厂质检 | 每批次产品均经过多通道气相色谱与精密质谱循环抽检，多项数据均高于行业标准，让连续供气的品质冗余。 | 为工厂 24 小时高负荷连续量产提供最坚实的安全与品质屏障。 |
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