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三氟化氮(5N)
2026/6/29
产品分类： 三氟化氮
名称/化学式：三氟化氮/NF3
包装规格：44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.99%
名称/化学式：三氟化氮/NF3
包装规格：44L、17L
纯度(%)及杂质(ppm)：99.99%
三氟化氮 / Nitrogen Trifluoride / NF3 产品分类：特种电子气体。严格按照高标准质量指标进行各项微量杂质的精密控制，包含 CF4、SF6 等氟化物及常规水分氧化物杂质，完全符合高精尖半导体及电子制造纯化规范。
基本物理性质
分子量 / Mol. Weight 71.01
熔点 / Melting Point -206.8 ℃ (1atm)
沸点 / Boiling Point -129 ℃ (1atm)
临界温度 / Critical Temp -39.3 ℃
临界压力 / Crit. Pressure 44.02 atm (4.46MPa)
液体密度 / Liquid Density 1554 kg/m³ (沸点时)
气体密度 / Gas Density 2.95 kg/m³ (1atm, 21℃)
CAS号 / CAS No. 7783-54-2
钢瓶包装与运输规格
钢瓶容积 / Cylinder Vol 47L、43.3L、40L、8L
钢瓶型号 / Cylinder Type DOT-3AA、GB5099
阀门出口 / Valve Out CGA330、CGA640
钢瓶压力 / Pressure 9.0 - 13.0 MPa
气体质量 / Gas Weight 22kg、20kg、3.4kg
危规号 / Hazmat No. 23016
UN编号 / UN No. 2451
包装类别 & 标志 / Label Ⅱ 类 / 标志：6
三氟化氮气体产品质量标准 (Q/J58-2007)
| 控制杂质 (Vol.ppm) | NF3 ≥ 99.995% | NF3 ≥ 99.99% | NF3 ≥ 99.98% | NF3 ≥ 99.9% |
|---|---|---|---|---|
| 四氟化碳 (CF4) | ≤ 20 | ≤ 40 | ≤ 100 | ≤ 500 |
| 氮气 (N2) | ≤ 5 | ≤ 5 | ≤ 10 | ≤ 50 |
| 氧气 + 氩气 (O2 + Ar) | ≤ 3 | ≤ 5 | ≤ 10 | ≤ 50 |
| 二氧化碳 (CO2) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | ≤ 10 |
| 水分 (H2O) | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| 酸份 (以 HF 计) | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
| 六氟化硫 (SF6) | ≤ 1 | ≤ 2 | ≤ 2 | ≤ 25 |
| 氧化亚氮 (N2O) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | ≤ 10 |
| 一氧化碳 (CO) | ≤ 0.5 | ≤ 5 | ≤ 10 | ≤ 10 |
储存及运输
储存环境：
三氟化氮气瓶应储存于阴凉、通风仓库内。三氟化氮气瓶应远离火种、热源、防止阳光直射，与还原剂、易燃或可燃物等分开存放。
搬运要求：
三氟化氮气瓶在搬运时要轻装、轻卸，防止钢瓶及附件破损。
运输规范：
三氟化氮气瓶的运输按危险品运输。运输时用气瓶固定架将三氟化氮气瓶固定好，用汽车公路运输或用轮船集装箱运输。
泄漏应急处理
人员撤离：
如遇有三氟化氮气体泄露，工作人员要马上撤离泄漏污染区，并尽可能采取措施阻止三氟化氮气体的进一步泄露。如有工作人员中毒，应立即送往医院救治。
现场处置：
泄露现场要尽快处理，处理泄露现场的工作人员必须佩戴必要的防毒面具，最好是自给正压式呼吸器。泄露现场经检测无危害气体后方可进入工作人员，泄露容器必须仔细检查、维修或妥善处理好方可继续使用。
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